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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2016. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ). <BB10099870>
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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2016. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ). <BB10099870>
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所蔵一覧
1件~1件(全1件)
10件
20件
50件
100件
No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
本部
2階一般図書
549.7/Ma31
11119260205
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
本部
配置場所
2階一般図書
請求記号
549.7/Ma31
資料ID
11119260205
状態
返却予定日
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0件
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書誌詳細
標題および責任表示
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
版事項
普及版
出版・頒布事項
東京 : シーエムシー出版 , 2016.3
形態事項
ix, 301p ; 26cm
巻号情報
ISBN
9784781311012
書誌構造リンク
CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00184906> 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
その他の標題
標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication
その他の標題
異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノ デバイス ノ エッチング ギジュツ
その他の標題
異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
その他の標題
異なりアクセスタイトル:新材料新素材シリーズ
シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
注記
2009年刊の普及版
注記
文献: 章末, ほか
学情ID
BB2089414X
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
式田, 光宏(1964-)||シキダ, ミツヒロ <AU10081428>
著者標目リンク
佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00025353>
著者標目リンク
田中, 浩
タナカ, ヒロシ <>
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
表面 (工学)||ヒョウメン(コウガク)
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
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