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半導体製造プロセス材料とケミカルス

坂本正典監修 = Materials and chemicals for semiconductor manufacturing process / supervisor, Masanori Sakamoto. -- シーエムシー出版, 2006. <BB00233205>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本部 2階一般図書 549.8/H29 11117828030 0件

No. 0001
巻号
所蔵館 本部
配置場所 2階一般図書
請求記号 549.8/H29
資料ID 11117828030
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造プロセス材料とケミカルス / 坂本正典監修 = Materials and chemicals for semiconductor manufacturing process / supervisor, Masanori Sakamoto
ハンドウタイ セイゾウ プロセス ザイリョウ ト ケミカルス
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2006.9
形態事項 ix, 329p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4882315882
その他の標題 その他のタイトル:エレクトロニクス材料・技術シリーズ
エレクトロニクス ザイリョウ ギジュツ シリーズ
注記 文献あり
注記 ジャケットに「エレクトロニクス材料・技術シリーズ」と記載あり
NCID BA78804327
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 坂本, 正典
サカモト, マサノリ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ