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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2016. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ). <BB10099870>
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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2016. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ). <BB10099870>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本部 2階一般図書 549.7/Ma31 11119260205 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本部
配置場所 2階一般図書
請求記号 549.7/Ma31
資料ID 11119260205
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2016.3
形態事項 ix, 301p ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781311012
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00184906> 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノ デバイス ノ エッチング ギジュツ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:新材料新素材シリーズ
シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
注記 2009年刊の普及版
注記 文献: 章末, ほか
学情ID BB2089414X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 式田, 光宏(1964-)||シキダ, ミツヒロ <AU10081428>
著者標目リンク 佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00025353>
著者標目リンク 田中, 浩
タナカ, ヒロシ <>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 表面 (工学)||ヒョウメン(コウガク)
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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