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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB00101767>
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ULSIプロセスの基礎技術

古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著. -- 丸善, 1991. -- (Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編 ; M08). <BB00101767>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本部 2階一般図書 549.7/U62 11115140275 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本部
配置場所 2階一般図書
請求記号 549.7/U62
資料ID 11115140275
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセスの基礎技術 / 古川静二郎編 ; 石原健 [ほか] 共著
ULSI プロセス ノ キソ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1991.3
形態事項 xi, 262p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621035835
書誌構造リンク Maruzen advanced technology / 菅野卓雄 [ほか] 編集 <BB00066909> . 材料工学編 / 堂山昌男 [ほか] 編||ザイリョウ コウガクヘン ; M08//a
注記 各章末: 文献
学情ID BN06180206
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎(1934-)||フルカワ, セイジロウ <AU10034749>
著者標目リンク 石原, 健||イシハラ, タケシ <AU10040814>
著者標目リンク 堂山, 昌男(1927-)||ドウヤマ, マサオ <AU00008313>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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